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quark/準(zhǔn)分子照射裝置的應(yīng)用是什么？

更新時(shí)間：2023-09-01      瀏覽次數(shù)：1867

準(zhǔn)分子照射裝置

應(yīng)用實(shí)例

光掩模檢查前的中和

晶圓靜電消除（防止電路損壞）

玻璃表面有機(jī)物去除（干洗）

涂裝前表面改性（提高附著力）

鍍前表面改性（精細(xì)鍍層滲透）

電子基板的預(yù)貼合處理（提高附著力）

什么是準(zhǔn)分子燈？


準(zhǔn)分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發(fā)光原理和結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。

準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生波長(zhǎng)為172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比傳統(tǒng)光清潔和改性中使用的汞燈（波長(zhǎng)為185 nm和254 nm）更高。 

它可以立即打開(kāi)和關(guān)閉，不需要空轉(zhuǎn)。

扁平型

半導(dǎo)體QEF-300SPCQEF-230SPCQEF-160QEF-100QEF-35STQEF-35ST-V126
波長(zhǎng)172納米126納米
公用事業(yè)氮?dú)?冷卻水/AC100-240V
分配±5%±7%
照射孔徑φ332mm218×218毫米167×167毫米φ100mmφ35mmφ35mm
兼容的工作尺寸12英寸8英寸6寸4英寸––
照度（最大窗口表面）80毫瓦/平方厘米80毫瓦/平方厘米30毫瓦/平方厘米30毫瓦/平方厘米5毫瓦/平方厘米5毫瓦/平方厘米
 
 平面顯示器QEF-1600QEF-600QEF-320
波長(zhǎng)172納米
公用事業(yè)氮?dú)?冷卻水/AC100-240V
分配±10%
照射孔徑70×1570毫米70×620毫米70×312毫米
兼容的工作尺寸G6G3–
照度（最大管面）180毫瓦/平方厘米180毫瓦/平方厘米100毫瓦/平方厘米
 

管型

半導(dǎo)體QEV-360QEV-230QEV-160
波長(zhǎng)172納米
公用事業(yè)氮?dú)?冷卻水/AC100-240V
分配±15%
照射孔徑340×340毫米216×216毫米176×176毫米
兼容的工作尺寸12英寸8英寸6寸
照度（最大窗口表面）15毫瓦/平方厘米
 
 平面顯示器QEV-1200QEV-850QEV-750QEV-150
波長(zhǎng)172納米
公用事業(yè)氮?dú)?冷卻水/AC100-240V氮?dú)?AC100~240V
分配±15%
照射孔徑25×1200毫米25×850毫米25×750毫米25×172毫米 
兼容的工作尺寸寬度1200mm寬度850毫米寬度750毫米寬度150毫米 
照度（最大管面）50毫瓦/平方厘米




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