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產(chǎn)品分類產(chǎn)品
描述
桌上型、自動(dòng)化、高價(jià)值的薄片晶圓和化合物晶圓轉(zhuǎn)移工具。 先進(jìn)的低接觸晶圓傳輸機(jī)(LCT)可提供最潔凈、可靠和快速的晶圓傳輸方式,
無論是一般標(biāo)準(zhǔn)晶圓或是易碎晶圓都可在的方式下在兩個(gè)料盒之間傳輸。高可靠性和低維護(hù)成本。小體積的設(shè)計(jì)節(jié)省了寶貴的潔凈室空間。
LCT2具有觸摸屏控制,聚偏二氟乙烯涂層桿,料盒門和晶圓檢測功能。
LCT2 特點(diǎn):
觸摸屏控制
支撐桿采用PVDF 涂層,一次傳輸 25 個(gè)晶圓
料盒門存在檢測
料盒和工具中晶圓存在檢測
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培電源單獨(dú)出售
產(chǎn)品尺寸10"寬 30"長 16"高
重量40磅
附加信息
裝運(yùn)重量95磅
裝運(yùn)尺寸16 × 36 × 24 英寸