美國(guó)Laurell ø200mm旋涂機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)：WS-650-8B
更新時(shí)間：2024-09-02

簡(jiǎn)要描述：美國(guó)Laurell ø200mm旋涂機(jī)WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進(jìn)。這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓）。

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產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

美國(guó)Laurell ?200mm旋涂機(jī)WS-650-8B

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進(jìn)。這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于直徑? 100 毫米的硅晶圓）。

Laurell 獨(dú)的特的內(nèi)部碗狀設(shè)計(jì)消除了濺回現(xiàn)象，因此無(wú)需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲(chǔ)水箱，既實(shí)用又方便。

封閉式碗狀設(shè)計(jì)，加上過(guò)程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。

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