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megatorr焊接金屬波紋管

  • 產(chǎn)品型號(hào):112
  • 更新時(shí)間:2024-07-09

簡(jiǎn)要描述:megatorr焊接金屬波紋管112
概要
溶接ベローズは、一般真空機(jī)器、半導(dǎo)體製造裝置
における可動(dòng)部分の真空保持や裝置からの排気配
管用として數(shù)多く使用されております。特に、裝置の
可動(dòng)部の真空を保持する為に、安全性/機(jī)密性や耐
久性を考慮にいれ高品質(zhì)の金屬を使用した溶接メタ
ルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベ
ローズは、ISO9001 認(rèn)定工場(chǎng)で管理、製造、検査さ
れており、ご

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

megatorr焊接金屬波紋管112

megatorr焊接金屬波紋管112


在中概要溶接ベローズは、一般真空機(jī)器、半導(dǎo)體製造裝置における可動(dòng)部分の真空保持や裝置からの排気配管用として數(shù)多く使用されております。特に、裝置の可動(dòng)部の真空を保持する為に、安全性/機(jī)密性や耐久性を考慮にいれ高品質(zhì)の金屬を使用した溶接メタルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベローズは、ISO9001 認(rèn)定工場(chǎng)で管理、製造、検査されており、ご安心できる高品質(zhì)のベローズを壓力控制范圍趨于多樣化,對(duì)低真空(高壓)下壓力控制的需求越來(lái)越大。由于工藝氣體的多樣化,閥門(mén)加熱溫度也要求更高。這種寬帶閥就是為滿足這一需求而開(kāi)發(fā)的。
壓力控制范圍廣:可控從101.33kPa(大氣壓)到10Pa以 下(760Torr到70mTorr以下),最高可加熱到200℃。概要従來(lái)の真空?qǐng)R力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範(fàn)囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空(高圧)下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱溫度も、同じくプロセスガスの多様化により、より溫度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開(kāi)発致しましたのがこの広帯域バルブです。特長(zhǎng) ?広い圧力制御範(fàn)囲:101.3kPa(大気圧) ~ 10Pa以下(760Torr~70mTorr以下) ?弁體、バルブ本體(接ガス)部を200℃まで任意に加熱可能 ?溫度不均一を発生させるベローズを使用せず獨(dú)自構(gòu)造のシャ概要このコントローラは広帯域バルブ/AW シリーズを制御する為に國(guó)內(nèi)で開(kāi)発された専用のコントローラ/APシリーズです。コントローラー本體は多機(jī)能を有しており各種プロセス條件に最適化が可能です。外部制御方式はアナログ/デジタル両方を標(biāo)準(zhǔn)裝備しております。また、全面操作パネルからの設(shè)定も可能ですので操作が非常に容易です。主な機(jī)能 ?2個(gè)のキャパシタンスマノメーターを接続し獨(dú)立した圧力モニター及びコントロールが可能 ?バルブのソフトスタート(スローバキューム) ?ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ?レンジの異なる2個(gè)のキャパシタンスマノメーターも接続


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