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產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品中心/ products
簡(jiǎn)要描述:photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它支持各種膜厚分布測(cè)量。
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列
photonic-lattice厚度/折射率測(cè)量橢偏儀 ME 系列
這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。
從顯微鏡尺寸到大尺寸(約 50 cm),我們備有與測(cè)量對(duì)象相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品系列
這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。
一種可以在顯微鏡視野中測(cè)量雙折射的類(lèi)型。
附帶的顯微鏡可以從奧林巴斯或尼康中選擇。
PA-micro-S 是沒(méi)有顯微鏡的只有測(cè)量頭的產(chǎn)品。
這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。
它是一種可以在線(xiàn)安裝的類(lèi)型,光源和測(cè)量臺(tái)可以分開(kāi)。
這是一款測(cè)量范圍為 0 至 130 nm 的低相位差設(shè)備,它以 500 萬(wàn)像素的高分辨率高速測(cè)量雙折射/相位差的分布。
它是一種可以在線(xiàn)安裝的類(lèi)型,光源和測(cè)量臺(tái)可以分開(kāi)。