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產品分類一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。
長壽命100萬次循環(huán)
價格低廉 可以以較低的價格實現自動壓力控制。
高性能:采用高性能伺服電機、伺服放大器、新型驅動機構。
可實現高性能泄漏規(guī)格(*注1)、多級位置控制、自動壓力控制。
還可以通過閥門 O 形圈提供緊固公差 O 規(guī)格,從而實現最小電導。
NW25 尺寸提供最小直徑 20A。(20A NW25 尺寸還可配備 O 形圈,實現閉的密封。)
低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是一款不帶閥門O型圈的電導控制專用電動蝶閥。
采用通用性強的三菱電機伺服電機作為閥體的驅動源,閥體可以停止并保持在全閉、全開或任何其他位置。
現在可以多級改變閥門的開口面積,使其能夠用于廣泛的應用,例如保持真空容器內的恒定壓力,改變閥門前后的壓力,以及改變排氣流導。
中間停止位置可通過計算機軟件或伺服放大器預先設定,內存中最多可存儲13個位置。
通過從PLC等主機系統(tǒng)發(fā)送信號,機器將以良好的重復性停止在設定位置。
通過將可選的雙自動壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列組合,可以實現包括自動壓力控制在內的各種控制。
法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
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泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
使用面積 | 10 5 ~ 10 -6 帕 |
盤式密封 | 沒有任何 |
軸封 | Viton O 型圈 2 級 |
口徑 | 20A~100A |
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電源規(guī)格 | 主電源 AC200V(額定電流 1.5A) 控制電源 AC200V(額定電流 0.2A) 接口電源 DC24V(最大 500mA) |
控制方式 | 交流伺服方式 |
氣體接觸材料 | SUS304 |