products
產(chǎn)品分類長壽命 500,000 至 100 萬次循環(huán)
價格低廉 可以以較低的價格實現(xiàn)自動壓力控制。
高性能 采用高性能伺服電機和新型驅(qū)動機構
高功能性 可實現(xiàn)全閉環(huán)、多級位置控制、自動壓力控制。
您可以選擇電機位置。(4個位置)
MBV-LDⅡ-M4- R
MBV-LDⅡ-M4- L
MBV-LDⅡ-M4- F
MBV-LDⅡ-M4- B
可通過一臺裝置進行全封閉和電導調(diào)節(jié),還可進行最小電導控制。
可以從壓差狀態(tài)(真空至大氣壓)開啟。
使用高精度齒輪箱可實現(xiàn)出色的位置精度重復性。
除全關、全開外,還可停在最多13個位置的任意位置。
使用可選的伺服支持軟件可以輕松進行定位設置。
通過添加可選的雙自動壓力控制系統(tǒng)控制器進行控制,也可用作自動壓力控制閥。
可以使用角度指示器從外部確認閥體的位置。
通過選擇電機位置,可以靈活適應各種布局,并且可以有效利用安裝的排氣系統(tǒng)的空間。
標準配備用于全關閉位置檢測的光電傳感器
帶制動器的電機規(guī)格也可作為選件提供。(型號:MBV-LDⅡ-M4Br-ARJ)
法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
---|---|
泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
使用面積 | 10 5 ~ 10 -6帕 |
盤式密封 | 氟橡膠 O 形圈 |
軸封 | Viton O 型圈 2 級 |
口徑 | 25A~300A |
---|---|
電源規(guī)格 | 主電源 AC200V(額定電流 1.5A) 控制電源 AC200V(額定電流 0.2A) 接口電源 DC24V(最大 500mA) |
控制方式 | 交流伺服方式 |
氣體接觸材料 | SUS304 |